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研究闡明砷在雙向閾值開關中的作用機制
發布時間:2023.10.07        閱讀次數:

砷(As)是高毒性元素,但長期以來被廣泛用于半導體制造,即通過將砷注入硅襯底制造N型半導體。同時,砷是第二代半導體的標志性材料砷化鎵的主要成分。砷在相變存儲器(PCM)的發現、開發和最終商業化過程具有重要的作用。相變存儲器是新興的存儲器技術,可填補現代計算機中閃存和內存之間的性能鴻溝。1964 年,Northover和Pearson在砷基鉻化物(即 As-Te-I)中發現了電開關行為。1968年,S. R. Ovshinsky報道了非晶態 As30Te48Si12Ge10的可重復雙向閾值開關(OTS)現象,并發現了若將砷的濃度降至5 at.%以下,非晶態和晶態能夠可逆轉變即相變存儲器的工作原理。至今,越來越多的OTS材料被開發,如Ge-Te、Ge-Se、 Ge-S等,而只有砷基OTS材料(As-Se-Ge-Si)是唯一被用于Intel量產的128 Gb相變存儲芯片中(2017年,傲騰),但砷在OTS中的作用仍然未知。?

中國科學院上海微系統與信息技術研究所宋志棠和朱敏研究團隊、華中科技大學、復旦大學、日本群馬大學與英國劍橋大學,以自主GeS為母材料,改變其砷元素的含量,探討了不同砷含量下OTS器件的性能變化,進一步通過拉曼、光熱偏轉譜等實驗手段研究了不同砷含量對OTS微觀結構、能帶及缺陷態的影響,并通過與第一性原理計算進行結合揭示了砷在OTS中的內在作用機制。該工作通過對比不同砷含量的GeSAs器件退火前后的性能發現,砷降低了器件的漏電流,提升了性能一致性,抑制了電壓漂移,延長了器件壽命至~1010(圖1),提高了器件的熱穩定性使其能夠抵擋450 ℃后道工藝熱沖擊(砷含量為25 at.%時器件的綜合性能最優,圖2)。該工作將實驗結果與第一性原理計算結合發現,砷加入后形成了更強的As-S鍵阻礙了原子遷移,從而提高了熱穩定性并抑制電壓漂移。該工作闡明了砷在OTS的內在作用機制,為后續OTS材料設計以及性能優化提供了理論指導。

9月29日,相關研究成果以The Role of Arsenic in the Operation of Sulfur-Based Electrical Threshold Switches為題,發表在《自然-通訊》(Nature Communications)上。上海微系統所為第一完成單位和通信單位。研究工作得到國家自然科學基金、上海青年科技啟明星計劃和中國科學院戰略性先導科技專項(B類)等的支持。